Poröses Silizium (PS) ist aufgrund seiner Anwendungen in der Optoelektronik, in biologischen und chemischen Sensoren, in der Mikrobearbeitung, bei der Herstellung von Diffusionsmembranen und als Trägermaterial und Falle für Moleküle in der matrixfreien Desorptions/Ionisations-Massenspektrometrie sehr wichtig. PS kann auch in der Photovoltaik, in biomedizinischen Anwendungen sowie in Batterien und Solarzellen eingesetzt werden. PS wird normalerweise entweder durch anodisches Ätzen in HF-basierten Lösungen oder durch Fleckenätzen in HF/Oxidationsmittel hergestellt. Während die metallunterstützte chemische Ätzmethode keine externe Vorspannung benötigt und die Bildung von gleichmäßigem PSL schneller ermöglicht als die Fleckenätzmethode.